仪器型号：MicroWriter ML3

生产厂家：Durham Magneto Optics

主要规格和技术参数：

1、直写性能：

1.1直写分辨率模式：0.6μm，1.0μm两种分辨模式，且不同分辨率模式可通过

软件自动切换，可原位升级添加0.4um，2.0μm和5um分辨率模式；；

1.2最快直写速度（mm2/min）：17@0.6μm，50@1μm；

1.3对准及套刻精度：1um；

1.4灰度直写等级：256级;

1.5工作原理：全加工区域聚焦光斑扫描直写；

2、直写光源

2.1光源波长：365nm；

2.2光源功率：1.5W；

3、样品加工区

3.1最大基片尺寸：155mm直径；

3.2最大基片厚度：7mm；

3.3最大加工区域：149mm×149mm；

3.4配备X、Y、Z三维直流线性位移电机，步进精度100nm；

3.5 X/Y轴最大行程不低于200mm，Z轴最大行程7mm；

3.6套刻精度控制在1μm内（≤1um）；

3.7最小栅格精度不超过100 nm；

3.8有温控样品腔室；

4、显微镜系统

4.1集成光学显微镜系统，放大倍数分别为：×10/×20，2种放大倍数可自动切换；

4.2配有光学轮廓探测系统，可进行二维成像，Z向分辨率不差于100nm。

5、对准、对焦及校准系统

5.1带有自动对准及局域可视化对准双组件，且对准精度优于500nm；

5.2配备Focus-lock自动对焦组件；

5.3可对表面不平整的样品进行Z向聚焦加工面自动调节；

5.4带有自动校正软件和探测器。

6、配备自动标记识别功能，可快速自动识别特定图形标记图案。

7、附属功能

7.1带有多基片多任务自动加工功能；

7.2带有同一任务不同区域不同分辨率模式自动组合加工功能。

9设备为台式桌面型设计

主机尺寸：70cm×70cm×70cm，整体占地面积为120cm×120cm；

主要功能及特色：Microwriter ML3是一款多功能激光直写光刻系统，具有结构小巧紧凑(70X70X70cm3)，无掩模直写光刻系统的灵活性，还拥有高直写速度，高分辨率的特点，采用集成化设计，全自动控制，可靠性高，操作简便，适用于各种实验室桌面。

主要附件及配置：台式微纳结构高速直写系统、Clewin 5专用电子掩模图像设计软件

预约网址：http://202.113.64.51/genee/