仪器型号

SYRUSpro1110

技术指标

真空室尺寸1110mm，极限真空5×10^-5Pa，

APSpro等离子体源，光控系统测量精度优于0.002%

主要功能

电子束加热法和热蒸发法沉积薄膜

存放地点

天津理工大学21号楼111室

仪器型号

Spector

技术指标

真空室尺寸1000mm，极限真空1.07×10^-5Pa，

双13.56MHz射频离子源，25mm环带均匀性≤0.1% 

主要功能

离子束溅射法沉积薄膜

存放地点

天津理工大学21号楼111室